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教學(xué)實(shí)訓(xùn)設(shè)備Teaching Equipment

YG-DFP型數(shù)字式四探針測試儀

數(shù)字式四探針測試儀是半導(dǎo)體材料的電阻性能測量設(shè)備。儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

一、概述

數(shù)字式四探針測試儀是半導(dǎo)體材料的電阻性能測量設(shè)備。儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

二、技術(shù)指標(biāo)

1、測量范圍:電 阻 率:0.0001~2000Ωcm(可擴(kuò)展);

                     電 導(dǎo) 率:0.0005~10000s/cm;

                   方塊電阻:0.001~20000Ω(可擴(kuò)展);

                      電    阻:0.0001~2000Ωcm。

2、模擬電阻測量相對誤差(按JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。

3、可測晶片直徑:140mm×150mm;200mm×200mm;400mm×500mm。

4、恒流源:電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)。